如何為潔凈室選擇空氣過濾器

更新時(shí)間：2024-04-02瀏覽：1167次

01 背景

　　隨著芯片向更小的線寬遷移同期，元器件對(duì)污染和缺陷的敏感性變得更強(qiáng)增多。與此同時(shí)約定管轄，我們知道從沙子到芯片有序推進，要在工廠經(jīng)過100多道歷時(shí)1個(gè)多月的不同工序互動式宣講。在工廠環(huán)境中，任何一環(huán)帶入污染物都會(huì)對(duì)晶圓造成不可逆轉(zhuǎn)的損傷倍增效應。在污染控制方面高質量，未來幾年半導(dǎo)體制造業(yè)將面臨多重挑戰(zhàn)

02 FFU

潔凈車間凈化系統(tǒng)循環(huán)圖

　　對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，生產(chǎn)大多在潔凈室內(nèi)完成更合理，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)適應能力、生化技術(shù)、生物技術(shù)各方面、精密機(jī)械防控、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等適應性。其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度堅實基礎、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)重要作用，才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響等地。

　　潔凈室的污染源有灰塵，空氣傳播的微生物尤為突出，懸浮顆粒規定，和化學(xué)揮發(fā)性氣體等,由外部流入和內(nèi)部產(chǎn)生兩個(gè)途徑進(jìn)入車間空氣中。

潔凈車間污染來源

　　風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)是指潔凈室環(huán)境中的關(guān)鍵組件空間載體，旨在保持受控和無污染的氣氛高質量。FFU通常由風(fēng)扇、電機(jī)和高效微林匾M成部分？諝?HEPA)或超低滲透空氣(ULPA)過濾器組成流程。這些裝置在確保去除空氣中的顆粒和在受控環(huán)境中保持所需的清潔度水平方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

　　FFU旨在保護(hù)敏感器件在制造過程中的穩(wěn)定性特點，即使是微小的污染物也會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量深刻變革。隨著技術(shù)進(jìn)步不斷推動(dòng)對(duì)清潔生產(chǎn)空間的需求，F(xiàn)FU市場(chǎng)已經(jīng)成為優(yōu)先考慮精度和遵守嚴(yán)格清潔標(biāo)準(zhǔn)的行業(yè)不可或缺的一部分。

　　空氣過濾器的過濾機(jī)理主要包含：慣性原理著力增加，擴(kuò)散原理智能化，攔截原理，篩效應(yīng)原理處理，吸附原理建設，針對(duì)不同徑粒的污染物，主要發(fā)揮作用的模式不同助力各行。

過濾機(jī)理

　　較大的灰塵粒子在氣流中做慣性運(yùn)動(dòng)前來體驗。當(dāng)氣流繞過纖維時(shí)，慣性大的粒子來不及繞過而直接撞到纖維上灰塵越大確定性，慣性力越強(qiáng)撞擊纖維的可能性越大更加廣闊，過濾效果越好。

　　小于1μm的灰塵粒子不隨氣流運(yùn)動(dòng)講故事，而是因空氣分子的撞擊做無規(guī)則運(yùn)動(dòng)非常完善，稱為“布朗擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)”。如果撞在過濾器纖維上就被捕獲粒子越小全面革新，擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)越劇烈作用，撞擊纖維的機(jī)會(huì)越多，過濾效果越好行業分類。

　　所以技術特點，相比較而言直徑為0.1-0.3微米的顆粒物反而成了高效過濾器的去除難點(diǎn)。人們普遍認(rèn)為0.3μm的顆粒物是最難過濾的發展邏輯，所以HEPA等級(jí)劃分的依據(jù)就變成了對(duì)0.3μm的過濾效率凝聚力量。

　　歐洲規(guī)定，只要對(duì)0.3μm顆粒物的凈化效率超過85%的聽得進，就可認(rèn)證為HEPA濾網(wǎng)新的力量。

不同徑粒攔截方式

　　空氣過濾器的性能指標(biāo)

　　空氣過濾器的性能指標(biāo)包括：1.額定風(fēng)量(額定風(fēng)量是指過濾元件試驗(yàn)選用的空氣體積流量)；

　　2.阻力更多可能性；

　　3.效率(過濾器捕集粉塵的量與未過濾空氣中的粉塵量之比定義為“過濾效率“)去創新；

　　4. 容塵量(容塵量是在特定試驗(yàn)條件下，過濾器容納特定試驗(yàn)粉塵的重量)緊迫性。

　　我們重點(diǎn)來對(duì)阻力展開說明學習。

　　阻力是指流體通過過濾器在上下游間產(chǎn)生的壓差，行業(yè)內(nèi)通常分初阻力和終阻力聽得懂，其中應用優勢，初阻力是指過濾器在使用前的初始阻力，終阻力是過濾器達(dá)到使用限值時(shí)的阻力全方位。一般選取終阻力為初阻力的2~4倍

　　降低阻力高效節能，可以提高過濾效率影響力範圍，增加空氣過濾器的使用壽命，降低生產(chǎn)成本新創新即將到來。降低阻力的方法有：選擇低阻力的濾材邁出了重要的一步、優(yōu)化生產(chǎn)工藝、降低流體穿過濾材的速度以及增加過濾面積設施。

　　有研究證明需求，過濾面積增加50%過濾器的使用壽命會(huì)延長(zhǎng)70%~80%，面積增加1倍組合運用，過濾器的使用壽命是原來的近3倍

不同面積阻力增加速度

03 如何選擇空氣過濾器

多種多樣的空氣過濾器

　　空氣過濾器款式非常多樣化更讓我明白了，潔凈車間在選擇空氣過濾器時(shí)往往需要根據(jù)實(shí)際需求對(duì)空氣過濾器的濾材、框架材料積極、密封材料上都需要進(jìn)行嚴(yán)謹(jǐn)?shù)倪x配探索。

空氣過濾器選擇邏輯

　　Darlly為先進(jìn)制程車間潔凈室提供多款初中高效空氣過濾器，濾材可選玻璃纖維產業、化學(xué)纖維(如如PP滿意度、PP/PET復(fù)合材料、PTFE)等等狀況。

　　同時(shí)機製性梗阻，Darlly強(qiáng)大的產(chǎn)品研發(fā)團(tuán)隊(duì)可根據(jù)您現(xiàn)有或即將安裝的的FFU機製，為您定制您任何所需要的初中高效過濾器全過程，任意框材、膜材探討、尺寸可選不負眾望。

新品開發(fā)流程

04 總結(jié)

　　在各類泛半導(dǎo)體潔凈室中，對(duì)于懸浮顆粒物和氣態(tài)污染物的控制要求都是極其嚴(yán)格的調解製度。需要可靠的空氣過濾系統(tǒng)來保證室內(nèi)空氣潔凈度精準調控，空氣過濾器的性能直接決定空氣污染物的去除效率。Darlly大立為半導(dǎo)體潔凈車間提供具價(jià)值的過濾解決方案應用的因素之一，可以有效過濾雜質(zhì)污染體系，滿足生產(chǎn)要求。

Darlly超級(jí)工廠

　　杭州大立過濾設(shè)備有限公司開展試點，成立于1996年攜手共進，國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，面向全球客戶提供整體過濾解決方案推進一步，設(shè)計(jì)和供應(yīng)多種材質(zhì)的折疊膜濾芯經過、囊式過濾器、特用材質(zhì)濾芯力度、過濾器及系統(tǒng)明確了方向，產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋生命科學(xué)系統性、食品飲料、微電子單產提升、工業(yè)和水處理等行業(yè)傳遞。